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GB/T 16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则.pdf
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国家标准(GB)
简体中文
现行
文档简介
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语,并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。GB/T16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则GB/T16880-1997...
标准详情
标准名称:光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
标准号:GB/T 16880-1997
中标分类号:电子元器件与信息技术 » 电子工业生产设备 » L97加工专用设备
国标分类号:电子学 » 31.020电子元件综合
起草单位:中国科学院微电子中心
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门:国家技术监督局
主管部门:国家标准化管理委员会
标签:
标准状态
发布于:2023-08-06
实施于:2023-08-06
废止
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