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SJ 1550-1979硅外延片检测方法.pdf
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电子行业标准(SJ)
简体中文
现行
文档简介
本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等SJ1550-1979硅外延片检测方法SJ1550-1979...
标准详情
标准名称:硅外延片检测方法
标准号:SJ 1550-1979
中标分类号:冶金 » 半金属与半导体材料 » H81半金属
发布部门:中华人民共和国第四机械工业部
标签:
标准状态
发布于:2023-08-06
实施于:2023-08-06
废止
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